冰刻技术概念（西湖大学谁发明水刻机）

冰刻技术概念？

冰刻就是将这个过程中的光刻胶用冰来代替，而光源用电子束来代替，以谋求完成对于光刻机的替代，这种冰刻方法是在真空环境中实现，主要利用零下140℃左右的温度将水蒸气凝结成冰，这样能更均匀的实现晶圆的覆盖。

目前冰刻技术的精度已经达到了微纳米级别。

那这种冰刻技术和光刻机的工作有什么不同之处？

首先就是操作环境的不同。

前面已经提到过冰刻的温度要求，在这种情况下运用电子束刻方式进行的雕刻的速度就会有一定的方面，所以从效率上来看的话，目前的冰刻技术是明显不如光刻机的。

西湖大学谁发明水刻机？

西湖大学的仇旻团队。

仇旻在接受采访时表示，他们的研发项目是针对光刻胶技术方面的突破，在零下140摄氏度的真空环境下，让水蒸气凝华成无定形冰，这便是所谓的“冰刻”。

据了解，关于“冰刻”的研究，仇旻团队已经坚持了8年的时间，而全球仅有2支团队在此方面做出过研究。

所以说，更多的技术还需要我们慢慢探索突破，一旦实现破冰，我国的光刻机技术就会上升到一个更高的阶段，被“卡脖子”将真正成为历史。

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