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什么是光刻机(光刻机是什么)
2023-10-16 06:31:52【观察】
简介什么是光刻机?光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。光刻机是生产大规模集成电路的核心设备,制造和维护需要高度的
什么是光刻机?
光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。
光刻机是生产大规模集成电路的核心设备,制造和维护需要高度的光学和电子工业基础,世界上只有少数厂家掌握。
用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,目前国家在积极研究和探索,相信不久的将来一定能研究制造出自己的高端光刻机。
光刻机是什么?
光刻机,是现代光学工业之花,是半导体行业中的核心技术,它又叫掩模对准曝光机,光刻系统等,用光来制作一个图形工艺,将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时复制到硅片上的过程,它主要的光刻工艺经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
光刻机是什么意思?
光刻机,是现代光学工业之花,是半导体行业中的核心技术,它又叫掩模对准曝光机,光刻系统等,用光来制作一个图形工艺,将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程,将器件或电路结构临时复制到硅片上的过程,它主要的光刻工艺经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
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